{bgcolor:#F9FBFE}
{color:#800000}{*}Local 1171-1175{*}{color}
{color:#800000}{*}Responsables:*{color}
{color:#800000}{*}Benoît Cardin Saint-Antoine (benoit.cardin-st-antoine@polymtl.ca).*{color}
{color:#800000}{*}François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca).*{color}
{color:#800000}{*}Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).*{color}
!DSC00627.JPG|thumbnail,align=center!
h4. Description
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{align:justify}Système d'évaporation de métaux AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS. L'évaporateur comporte deux montages:
* Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
* Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).
{align}
h4. Procédures
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{color:#800000}{*}Ouvrir l'évaporateur{*}{color}
{panel:align=justify}
# Appuyez sur *SEAL* pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
# Appuyez sur *VENT* pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
# Quand la pression indique 10 ^3^ mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur.
{color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert{*}{color}
{panel}
{color:#800000}{*}Installation de l'échantillon{*}{color}
{panel:align=justify}
# Faire tourner le porte échantillon en maintenant enfoncé le bouton de droite du *Rotary workholder*, jusqu'à amener le boulon face à soi.
# Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est Lourd)
# Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
# Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacer le porte-échantillon.
# Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.
{color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.*{color}
{panel}
{color:#800000}{*}Choix du métal{*}{color}
{panel:align=justify}
# Faire tourner la grosse roulette à l'avant pour choisir le métal à évaporer.
# Vérifier que le bon creuset avec le bon métal est positionné dans la chambre.
# Sur le boîtier *FTM7* au dessus du panneau de contrôle, sélectionner *Layer* et choisir le numéro correspondant au métal choisi.
| Layer 1 \\ | Ti \\ |
| Layer 2 \\ | Al \\ |
| Layer 3 \\ | Au \\ |
| Layer 4 \\ | Ag \\ |
| Layer 5 \\ | Pd \\ |
| Layer 6 \\ | Co \\ |
| Layer 7 \\ | Cr \\ |
{panel}
{color:#800000}{*}Mise sous vide de la chambre{*}{color}
{panel:align=justify}
# Fermer la chambre d'évaporation.
# Appuyer sur CYCLE, ce qui éxecute automatiquement les étapes de pompage de la chambre: pompage par la pompe primaire jusqu'à 2X10 ^\-2^ mbar, puis par la turbo. Quand la pression atteint les 10 ^\-4^ mbar, l'appareil devrait afficher '*fine pumping*'.
# Prévoir 30 minutes à 1 heure pour que la pression descende.
# À partir de 10 ^\-5^ mbar, remplir le doigt froid sur le côté gauche d'azote liquide.
# L'évaporation peut commencer quand la pression atteint 10 ^\-6^ mbar ou moins.
{panel}
{color:#800000}{*}Évaporation du métal{*}{color}
{panel:align=justify}
# Dans le cahier de laboratoire, noter votre nom, la date et la pression de l'évaporateur. (La pression devrait être dans les 10 ^\-6^ ou moins).
# Allumer la source et vérifier que les voyants jaunes *FAN* sur EB3 Source Control s'allument.
# Enfoncer le bouton *ON* sur EB3 source control (Alimentation de l'ebeam).
# Attendre que le voyant jaune *POWER* s'allume.
# Vérifier que la roulette du courant est au minimum.
# Enfoncer le bouton *GUN* sur EB3 Source Control. L'écran devrait afficher environ 5.25 kV et un courant du faisceau *BEAM* de 0.01 mA.
# Sur le boîtier *FTM7*, sélectionnez *RATE* qui indique le taux d'évaporation en nm/s.
# Consultez les utilisations précedentes avec le même métal dans le cahier de laboratoire pour savoir les courants et taux d'évaporation utilisés (voir section {color:#0000ff}{*}Paramètres d'évaporation pour les différents métaux{*}{color})
# S'assurer que les échantillons sont derrière le cache, ensuite ouvrirle shutter en appuyant sur *SS1* (le bouton *REMOVE* doit être relevé)
# Appuyer sur meter pour voir le courant dans le filament et tourner doucement la roulette de courant pour augmenter au premier palier. Chronomètrer la durée du palier (généralement 2 minutes).
# Noter dans le cahier de laboratoire la durée du palier, le courant du filament et le courant du faisceau.
# Surveiller la pression, qui ne devrait pas augmenter de plus de deux ordres de grandeur. Si jamais la pression monte dans les 10 ^\-4^ mbar baisser complètement le courant.
# Répeter 10 à 12 pour plusieurs paliers. ATTENTION: les derniers sont délicats\!
Vérifier le taux d'évaporation et observer le creuset par la vitre pour vérifier si l'évaporation commence (taux d'évaporation non-nul)
# Quand le taux d'évaporation désiré est atteint, fermer le shutter et faire tourner le porte échantillon pour placer les échantillons au-dessus du creuset.
# Simultanément, ouvrir le shutter et appuyer sur *RUN* sur le boîtier *FTM7*, ceci commence le calcul de l'épaisseur de métal déposé.
# Quand l'épaisseur désirée est atteinte, fermer le shutter et baisser rapidement la roulette de courant zéro.
# Pour faire une autre évaporation, attendre au moins 15 minutes. puis voir la section {color:#800000}{*}Choix de métal{*}{color} et refaire les étapes 7 à 16.
# Lorsque toutes les évaporations sont terminées, appuyer sur *GUN*.
# Attendre au moins 15 minutes.
# Appuyer sur le *ON* de EB3 Source Control.
# Éteindre la source.
{panel}
h4.
h4. Paramètres d'évaporation pour les différents métaux
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h4. Titane: taux d'évaporation 0.1 nm/s
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 10 A |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 23 A |
| 1150 \\ | 1 min \\ | 35 A \\ |
h4. Palladium: taux d'évaporation 0.1 nm/s
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 10 A\\ |
| 1050 \\ | 2 min \\ | 17 A |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 27 A\\ |
| 1150 \\ | 1 min \\ | 40 A \\ |
h4. Or: taux d'évaporation 0.1 nm/s
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 850 \\ | 2 min \\ | 5 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 6 A\\ |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 21 A |
| 1200 \\ | 1 min \\ | 43 A \\ |
h4. Chrome taux d'évaporation 0.25 nm/s
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 850 \\ | 2 min \\ | 2 A\\ |
| 950 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 1 min \\ | 7 A |
| 1050 \\ | 1 min \\ | 10 A |
h4. Cobalt taux d'évaporation 0.1 nm/s
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 800 \\ | 2 min \\ | 2 A |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A \\ |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 9 A\\ |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 18 A\\ |
h4.
h4. Manuels et documentation
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[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 1|^AUTO 306 VACUUM COATER WITH TURBOMOLECULAR PUMPING SYSTEM vol 1.pdf]
[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 2|^AUTO 306 VACUUM COATER - OPERATING INSTRUCTIONS vol 2.pdf]
[Electron Beam Source|^EB3 MULTIHEARTH ELECTRON BEAM SOURCE AND ACCESSORIES.pdf]
[Film Thichness Monitor FTM7|^FTM7 FILM THICKNESS MONITOR.pdf]
[Source Shutter|^MANUAL SOURCE SHUTTER AND ELECTROMAGNETIC SOURCE SHUTTER.pdf]
[Crystal and oscillator unit|^WATER COOLED CRYSTAL HOLDER, CRYSTALS AND OSCILLATOR UNIT.pdf]
[Workholder|^WORKHOLDER AND HEATER ACCESSORIES.pdf]
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[Laboratoires|brano:Laboratoires]
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