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{color:#800000}{*}Local 1171-1175{*}{color}


{color:#800000}{*}Responsables:*{color}

{color:#800000}{*}Benoit (benoit@polymtl.ca).*{color}
{color:#800000}{*}François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca).*{color}
{color:#800000}{*}Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).*{color}



!DSC00627.JPG|thumbnail,align=center!


h4. Description
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Système d'évaporation de métaux (Or, Palladium, Titane, Chrome, Aluminium,..., AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS.
L'évaporateur comporte deux montages:
* Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
* Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).

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h4. Procédures
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{color:#800000}{*}Ouvrir l'évaporateur{*}{color}
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* Appuyez sur SEAL pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
* Appuyez sur VENT pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
* Quand la pression indique 1000 mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur.

{color:#800000}

{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert{*}{color}
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{color:#800000}{*}Installation de l'échantillon{*}{color}
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* Faire tourner le porte écantillon en maintenantenfoncé le bouton de droite du Rotary workholder, jusqu'à amenner le boulon face à soi.
* Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est Lourd)
* Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
* Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacerle porte-échantillon.
* Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.

 {color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.*{color}
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{color:#800000}{*}Choix du métal{*}{color}
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* Faire tourner la grosse roulette à l'avant pour choisir le métal à évaporer.
* Vérifier que le bon creuset avec le bon métal est positionné dans la chambre.
* Sur le boîtier FTM7 au dessus du panneau de contrôle, sélectionner 'layer' et choisir le numéro correspondant au métal choisi (voir tableau 1)
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{color:#800000}{*}Mise sous vide de la chambre{*}{color}
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* Fermer la chambre d'évaporation.
* Appuyez sur CYCLE, ce qui éxecute automatiquement les étapes pour le pompage de la chambre: pompage par la pompe primaire jusqu'à 2X10 ^-2^ mbar, puis le pompage par la turbo. Quand la pression atteint les 10 ^-4^ mbar, l'appareil devrait afficher 'fine pumping'.
* Prévoir 30 minutes à 1 heure pour que la pression descende.
* À partir de 10 ^-5^ mbar, remplir le doigt froid sur le côté gauche d'azote liquide.
* L'évaporation peut commencer quand la pression atteint 10 ^-6^ mbar ou moins.
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h4. Paramètres d'évaporation pour les différents métaux
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h4. Manuels et documentation

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[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 1|^AUTO 306 VACUUM COATER WITH TURBOMOLECULAR PUMPING SYSTEM vol 1.pdf]

[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 2|^AUTO 306 VACUUM COATER - OPERATING INSTRUCTIONS vol 2.pdf]

[Electron Beam Source|^EB3 MULTIHEARTH ELECTRON BEAM SOURCE AND ACCESSORIES.pdf]

[Film Thichness Monitor FTM7|^FTM7 FILM THICKNESS MONITOR.pdf]

[Source Shutter|^MANUAL SOURCE SHUTTER AND ELECTROMAGNETIC SOURCE SHUTTER.pdf]

[Crystal and oscillator unit|^WATER COOLED CRYSTAL HOLDER, CRYSTALS AND OSCILLATOR UNIT.pdf]

[Workholder|^WORKHOLDER AND HEATER ACCESSORIES.pdf]



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[Laboratoires|brano:Laboratoires]
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