| Wiki Markup |
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{bgcolor:#F9FBFE}
{color:#800000}{*}Local 1175{*}{color}
{color:#000080}{*}Usagers :*{color}
{color:#800000}Benoît Cardin Saint-Antoine (benoit.cardin-st-antoine@polymtl.ca){color}
{color:#800000}François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca){color}
{color:#800000}Maria{color}
{color:#000080}{*}Responsables:*{color}
{color:#800000}Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca){color}
{color:#800000}Pierre Levesque (p.levesque@umontreal.ca){color}
{color:#800000}Joël Bouchard (joel.bouchard@polymtl.ca).{color}
!DSC00627.JPG|thumbnail,align=center!
h2. {color:#800000}Description{color}
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{align:justify}Système d'évaporation de métaux AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS. L'évaporateur comporte deux montages:
* Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
* Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).
{align}
h3h2. {color:#800000}Procédures{color}
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h4h3. {color:#003366#000080}{*}OuvrirOuverture de l'évaporateur{*}{color}
{panel:align=justify}
# Appuyez sur {color:#000080}{*}SEAL{*}{color} pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
# Appuyez sur {color:#000080}{*}VENT{*}{color} pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
# Quand la pression indique 10 ^3^ mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur ({color:#ff0000}{*}S.V.P NE PAS FORCER L'OUVERTURE DE LA PORTE{*}{color}, attendez quelques minutes, la porte s'ouvrira une fois la pression atmosphérique atteinte).
{color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert{*}{color}
{panel}
h4h3. {color:#003366#000080}{*}Installation des échantillons{*}{color}
{panel:align=justify}
# Faire tourner le porte échantillon en maintenant enfoncé le bouton de droite du *Rotary Workholder*, jusqu'à amener le boulon face à soi.
# Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est pesant).
# Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
# Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacer le porte-échantillon.
# Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.
{color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.*{color}
{panel}
h4h3. {color:#003366#000080}{*}Choix du métal{*}{color}
{panel:align=justify}
# Faire tourner la grosse roulette à l'avant pour choisir le métal à évaporer.
# Vérifier que le bon creuset avec le bon métal est positionné dans la chambre.
# SurS'il lemanque boîtier *FTM7* au dessus du panneau de contrôle, sélectionner *Layer* et choisir le numéro correspondant au métal choisi.
| {color:#800000}{*}Layer 1{*}{color} | {color:#000080}{*}Ti{*}{color} | {color:#800000}{*}Layer 2{*}{color}\\ | {color:#000080}{*}Al{*}{color} \\ du matériau, il faut l'ajouter. {color:#ff0000}{*}S'assurer de ne jamais dépasser les 2/3 du volume du creuset, sinon une fois le métal fondu, il peut déborder du creuset et arrêter l'évaporation.*{color}
# Sur le boîtier *FTM7* au dessus du panneau de contrôle, sélectionner *Layer* et choisir le numéro correspondant au métal choisi.
| {color:#800000}{*}Layer 31{*}{color}\\ | {color:#000080}{*}AuTi{*}{color} \\ | {color:#800000}{*}Layer 42{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}AgAl{*}{color} \\ | {color:#800000}{*}Layer 53{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}PdAu{*}{color} \\ | {color:#800000}{*}Layer 64{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}CoAg{*}{color} \\ | {color:#800000}{*}Layer 75{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}CrPd{*}{color} \\ |
\\
{panel}
h4. {color:#003366#800000}{*}Mise sous vide de la chambreLayer 6{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}Co{*}{color}
| {panelcolor:align=justify}
# Fermer la chambre d'évaporation.
# Appuyer sur *CYCLE*, ce qui exécute automatiquement les étapes de pompage de la chambre: pompage par la pompe primaire jusqu'à 2X10 ^\-2^ mbar, puis par la turbo. Quand la pression atteint#800000}{*}Layer 7{*}{color} \\ | {color:#000080}{*}Cr{*}{color} \\ |
\\
{panel}
h3. {color:#000080}{*}Mise sous vide de la chambre{*}{color}
{panel:align=justify}
# Fermer la chambre d'évaporation.
# Appuyer sur *CYCLE*, ce qui exécute automatiquement les étapes de pompage de la chambre: pompage par la pompe primaire jusqu'à 2X10 ^\-2^ mbar, puis par la turbo. Quand la pression atteint les 10 ^\-4^ mbar, l'appareil devrait afficher '*Fine pumping*'.
# Prévoir 30 minutes à 1 heure pour que la pression descende.
# À partir de 10 ^\-5^ mbar, remplir le doigt froid sur le côté gauche d'Azote liquide.
# L'évaporation peut commencer quand la pression atteint 10 ^\-6^ mbar ou moins.
{panel}
h3. {color:#000080}{*}Évaporation du métal{*}{color}
{panel:align=justify}
# Dans le cahier de laboratoire, noter votre nom, la date et la pression de l'évaporateur. (La pression devrait être dans les 10 ^\-4^6^ mbar, l'appareil devrait afficher '*Fine pumping*'.
# Prévoir 30 minutes à 1 heure pour que la pression descende.
# À partir de 10 ^\-5^ mbar, remplir le doigt froid sur le côté gauche d'Azote liquide.
# L'évaporation peut commencer quand la pression atteint 10 ^\-6^ mbar ou moins.
{panel}
h4. {color:#003366}{*}Évaporation du métal{*}{color}
{panel:align=justify}
# Dans le cahier de laboratoire, noter votre nom, la date et la pression de l'évaporateur. (La pression devrait être dans les 10 ^\-6^ mbar ou moins).
# Allumer la source et vérifier que les voyants jaunes *FAN* sur "EB3 Source Control" s'allument.
# Enfoncer le bouton *ON* sur "EB3 Source Control" (Alimentation de l'ebeam).
# Attendre que le voyant jaune *POWER* s'allume.
# Vérifier que la roulette du courant est au minimum.
# Enfoncer le bouton *GUN* sur EB3 Source Control. L'écran devrait afficher environ 5.25 kV et un courant du faisceau *BEAM* de 0.01 mA.
# Sur le boîtier *FTM7*, sélectionnez *RATE* qui indique le taux d'évaporation en nm/s.
# Consultez les utilisations précedentes avec le même métal ou moins).
# Allumer la source et vérifier que les voyants jaunes *FAN* sur "EB3 Source Control" s'allument.
# Enfoncer le bouton *ON* sur "EB3 Source Control" (Alimentation de l'ebeam).
# Attendre que le voyant jaune *POWER* s'allume.
# Vérifier que la roulette du courant est au minimum.
# Enfoncer le bouton *GUN* sur EB3 Source Control. L'écran devrait afficher environ 5.25 kV et un courant du faisceau *BEAM* de 0.01 mA.
# Sur le boîtier *FTM7*, sélectionnez *RATE* qui indique le taux d'évaporation en nm/s.
# Consultez les utilisations précédentes avec le même métal dans le cahier de laboratoire pour savoir les courants et taux d'évaporation utilisés (voir section {color:#0000ff}{*}Paramètres d'évaporation pour les différents métaux{*}{color})
# S'assurer que les échantillons sont derrière le cache, ensuite ouvrir le "Shutter" en appuyant sur *SS1* (le bouton *REMOVE* doit être relevé)
# Appuyer sur "Meter" pour voir le courant dans le filament et tourner doucement la roulette de courant pour augmenter au premier palier. Chronométrer la durée du palier (généralement 2 minutes).
# Noter dans le cahier de laboratoire pour savoir les courants la durée du palier, le courant du filament et taux d'évaporation utilisés (voir section {color:#0000ff}{*}Paramètres d'évaporation pour les différents métaux{*}{color})
# S'assurer que les échantillons sont derrière le cache, ensuite ouvrirle shutter en appuyant sur *SS1* (le bouton *REMOVE* doit être relevé)
# Appuyer sur meter pour voir le courant dans le filament et tourner doucement la roulette de courant pour augmenter au premier palier. Chronomètrer la durée du palier (généralement 2 minutes).
# Noter dans le cahier de laboratoire la durée du palier, le courant du filament et le courant du faisceau.
# Surveiller la pression, qui ne devrait pas augmenter de plus de deux ordres de grandeur. Si jamais la pression monte dans les 10 ^\-4^ mbar baisser complètement le courant.
# Répeter 10 à 12 pour plusieurs paliers. ATTENTION: les derniers sont délicats\!
Vérifier le taux d'évaporation et observer le creuset par la vitre pour vérifier si l'évaporation commence (taux d'évaporation non-nul)
# Quand le taux d'évaporation désiré est atteint, fermer le shutter et faire tourner le porte échantillon pour placer les échantillons au-dessus du creuset.
# Simultanément, ouvrir le shutter et appuyer sur *RUN* sur le boîtier *FTM7*, ceci commence le calcul de l'épaisseur de métal déposé.
# Quand l'épaisseur désirée est atteinte, fermer le shutter et baisser rapidement la roulette de courant zéro.
# Pour faire une autre évaporation, attendre au moins 15 minutes. puis voir la section {color:#800000}{*}Choix de métal{*}{color} et refaire les étapes 7 à 16.
# Lorsque toutes les évaporations sont terminées, appuyer sur *GUN*.
# Attendre au moins 15 minutes.
# Appuyer sur le *ON* de EB3 Source Control.
# Éteindre la source.
{panel}
h4.
le courant du faisceau.
# Surveiller la pression, qui ne devrait pas augmenter de plus de deux ordres de grandeur. Si jamais la pression monte dans les 10 ^\-4^ mbar baisser complètement le courant.
# Répéter 10 à 12 pour plusieurs paliers. ATTENTION: les derniers sont délicats\!
Vérifier le taux d'évaporation et observer le creuset par la vitre pour vérifier si l'évaporation commence (taux d'évaporation non-nul)
# Quand le taux d'évaporation désiré est atteint, fermer le "Shutter" et faire tourner le porte échantillon pour placer les échantillons au-dessus du creuset.
# Simultanément, ouvrir le "Shutter" et appuyer sur *RUN* sur le boîtier *FTM7*, ceci commence le calcul de l'épaisseur de métal déposé.
# Quand l'épaisseur désirée est atteinte, fermer le"Shutter"et baisser rapidement la roulette de courant zéro.
# Pour faire une autre évaporation, attendre au moins 15 minutes. puis voir la section {color:#800000}{*}Choix de métal{*}{color} et refaire les étapes 7 à 16.
# Lorsque toutes les évaporations sont terminées, appuyer sur *GUN*.
# Attendre au moins 15 minutes.
# Appuyer sur le *ON* de EB3 "Source Control".
# Éteindre la source.
{panel}
h3. {color:#000080}Chargement du métal{color}
{panel:align=justify}
# Choisir le creuset approprié pour votre métal (Voir Tableau ci-dessous).
# Ajouter le métal, s'assurer de ne jamais dépasser les 2/3 du volume du creuset, sinon une fois le métal fondu, il peut déborder du creuset et arrêter l'évaporation.
| *Métal* \\ | *Creuset (Liner)* \\ |
| Au \\ | Al2O3 |
| Ti \\ | Intermetallic \\ |
| Cr \\ | Coated Graphite |
| Pd \\ | Al2O3 |
| Co\\ | Coated Graphite |
*NB: Les creusets (liner) du système EB3 sont les creusets (4 cc)*
{color:#800000}{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations des Métaux et des creusets.*{color}
{panel}
h2. {color:#800000}Paramètres d'évaporation pour les différents métaux{color}
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h4. {color:#003366}Titane: taux d'évaporation 0.1 nm/s{color}
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 10 A |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 23 A |
| 1150 \\ | 1 min \\ | 35 A \\ |
h4. {color:#003366}Palladium: taux d'évaporation 0.1 nm/s{color}
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 10 A \\ |
| 1050 \\ | 2 min \\ | 17 A |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 27 A \\ |
| 1150 \\ | 1 min \\ | 40 A \\ |
h4. {color:#003366}Or: taux d'évaporation 0.1 nm/s{color}
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 850 \\ | 2 min \\ | 5 A |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 6 A \\ |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 21 A |
| 1200 \\ | 1 min \\ | 43 A \\ |
h4. {color:#003366}Chrome taux d'évaporation 0.25 nm/s{color}
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 850 \\ | 2 min \\ | 2 A \\ |
| 950 \\ | 2 min \\ | 3 A |
| 1000 \\ | 1 min \\ | 7 A |
| 1050 \\ | 1 min \\ | 10 A |
h4. {color:#003366}Cobalt taux d'évaporation 0.1 nm/s{color}
| I filament \\ | Temps \\ | I faisceau \\ |
| 800 \\ | 2 min \\ | 2 A |
| 900 \\ | 2 min \\ | 3 A \\ |
| 1000 \\ | 2 min \\ | 9 A \\ |
| 1100 \\ | 1 min \\ | 18 A \\ |
h4.
h4. Documentation
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[Laboratoires|brano:Laboratoires]
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