Local 1171-1175
Responsables:
Benoit (benoit@polymtl.ca).
François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca).
Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).
Description
Système d'évaporation de métaux (Or, Palladium, Titane, Chrome, Aluminium,..., AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS.
L'évaporateur comporte deux montages:
- Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
- Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).
Procédures
Ouvrir l'évaporateur
- Appuyez sur SEAL pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
- Appuyez sur VENT pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
- Quand la pression indique 1000 mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur.
Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert
Installation de l'échantillon
- Faire tourner le porte écantillon en maintenantenfoncé le bouton de droite du Rotary workholder, jusqu'à amenner le boulon face à soi.
- Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est Lourd)
- Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
- Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacerle porte-échantillon.
- Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.
Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.
Paramètres d'évaporation pour les différents métaux
Manuels et documentation
[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 1|^AUTO 306 VACUUM COATER WITH TURBOMOLECULAR PUMPING SYSTEM vol 1.pdf]
[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 2|^AUTO 306 VACUUM COATER - OPERATING INSTRUCTIONS vol 2.pdf]
[Electron Beam Source|^EB3 MULTIHEARTH ELECTRON BEAM SOURCE AND ACCESSORIES.pdf]
[Film Thichness Monitor FTM7|^FTM7 FILM THICKNESS MONITOR.pdf]
[Source Shutter|^MANUAL SOURCE SHUTTER AND ELECTROMAGNETIC SOURCE SHUTTER.pdf]
[Crystal and oscillator unit|^WATER COOLED CRYSTAL HOLDER, CRYSTALS AND OSCILLATOR UNIT.pdf]
[Workholder|^WORKHOLDER AND HEATER ACCESSORIES.pdf]