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Local 1171-1175

Responsables:

Benoit (benoit@polymtl.ca).
François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca).
Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).

Description

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Système d'évaporation de métaux (Or, Palladium, Titane, Chrome, Aluminium,..., AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS.
L'évaporateur comporte deux montages:

  • Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
  • Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).

Procédures

Ouvrir l'évaporateur

  • Appuyez sur SEAL pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
  • Appuyez sur VENT pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
  • Quand la pression indique 1000 mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur.

Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert

Installation de l'échantillon

  • Faire tourner le porte écantillon en maintenantenfoncé le bouton de droite du Rotary workholder, jusqu'à amenner le boulon face à soi.
  • Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est Lourd)
  • Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
  • Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacerle porte-échantillon.
  • Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.

Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.

Choix du métal

  • Faire tourner la grosse roulette à l'avant pour choisir le métal à évaporer.
  • Vérifier que le bon creuset avec le bon métal est positionné dans la chambre.
  • Sur le boîtier FTM7 au dessus du panneau de contrôle, sélectionner 'layer' et choisir le numéro correspondant au métal choisi (voir tableau 1)

Mise sous vide de la chambre

  • Fermer la chambre d'évaporation.
  • Appuyez sur CYCLE, ce qui éxecute automatiquement les étapes pour le pompage de la chambre: pompage par la pompe primaire jusqu'à 2X10 -2 mbar, puis le pompage par la turbo. Quand la pression atteint les 10 -4 mbar, l'appareil devrait afficher 'fine pumping'.
  • Prévoir 30 minutes à 1 heure pour que la pression descende.
  • À partir de 10 -5 mbar, remplir le doigt froid sur le côté gauche d'azote liquide.
  • L'évaporation peut commencer quand la pression atteint 10 -6 mbar ou moins.

Paramètres d'évaporation pour les différents métaux

Manuels et documentation

[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 1|^AUTO 306 VACUUM COATER WITH TURBOMOLECULAR PUMPING SYSTEM vol 1.pdf]

[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 2|^AUTO 306 VACUUM COATER - OPERATING INSTRUCTIONS vol 2.pdf]

[Electron Beam Source|^EB3 MULTIHEARTH ELECTRON BEAM SOURCE AND ACCESSORIES.pdf]

[Film Thichness Monitor FTM7|^FTM7 FILM THICKNESS MONITOR.pdf]

[Source Shutter|^MANUAL SOURCE SHUTTER AND ELECTROMAGNETIC SOURCE SHUTTER.pdf]

[Crystal and oscillator unit|^WATER COOLED CRYSTAL HOLDER, CRYSTALS AND OSCILLATOR UNIT.pdf]

[Workholder|^WORKHOLDER AND HEATER ACCESSORIES.pdf]

Laboratoires

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