PROCÉDURES ÉVAPO-CLOCHE
DESCRIPTION DES VALVES
VALVE 1 : Valve entre la pompe primaire et la cloche (chambre).
VALVE2: Valve entre la pompe primaire et la pompe turbo moléculaire.
VALVE 3: Valve entre la pompe turbo moléculaire et la cloche.
VENT: Valve de purge (d'entrée d'air).
| VALVE 1 |
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VALVE 2 | |
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VENT + VALVE 3 | |
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DESCRIPTION DU SYSTÈME D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE.
Le système d'alimentation électrique principale est une source de courant avec un Voltage de sortie de 6V qui permet de délivrer plus de 150 A de courant.
PANNEAU D'ALIMENTATION PRINCIPALE. Vout =6V, Imax: 150-200A | BYPASS - Via VARIAC |
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BRANCHEMENT DIRECT DE L'ALIMENTATION PRINCIPALE | BRANCHEMENT VIA LE VARIAC |
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REMISE À L'AIR DU SYSTÈME
Procédure d'utilisation
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La procédure de remise à l'air se fait selon les étapes suivantes:
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- Éteindre la jauge de pression.
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- S'assurer que le système d'alimentation électrique est OFF.
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- Fermer la VALVE 3.
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- Ouvrir la VALVE VENT.
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- Attendre que la pression dans la chambre atteigne la pression atmosphérique.
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- Enlever le couvercle de protection de la chambre.
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- Enlever la cloche.
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- Fermer la VALVE VENT.
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- Placez votre échantillon, ou enlevez le.
REMISE SOUS VIDE DU SYSTÉME
La procédure de remise sous vide du système se fait selon les étapes suivantes:
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- S'assurer que la VALVE VENT est fermée.
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- Fermer la VALVE 2.
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- Ouvrir la VALVE 1.
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- Attendre que la pression descende à 50 mTorr.
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- Fermer VALVE 1.
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- Ouvrir la VALVE 2.
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- Ouvrir la VALVE 3.
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- Laisser le système pomper pendant une vingtaine de minutes.
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- Allumer la jauge de pression à filament. La pression devra commencer à afficher une valeur en deçà de 10-4 Torr.
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- Si la pression est comme indiquée plus haut, laisser pomper le système quelques heures jusqu'à une pression
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- de 5x10-6 Torr.
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- Si la pression n'a pas atteint les 10-4 Torr, remettre le système à l'air, déplacer la cloche un petit peu est
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- recommencer le cycle de pompage.