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{bgcolor:#F9FBFE}

{color:#800000}{*}Local 1171-1175{*}{color}


{color:#800000}{*}Responsables:*{color}

{color:#800000}{*}Benoit (benoit@polymtl.ca).*{color}
{color:#800000}{*}François Lapointe (francois.lapointe.1@umontreal.ca).*{color}
{color:#800000}{*}Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).*{color}



!DSC00627.JPG|thumbnail,align=center!


h4. Description
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{align:justify}
Système d'évaporation de métaux (Or, Palladium, Titane, Chrome, Aluminium,..., AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS.
L'évaporateur comporte deux montages:
* Ebeam: à l'avant de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une haute température de fusion (Ti-Pd-Cr-Co-Au).
* Effet Joule: au fond de la chambre, utilisé pour évaporer les métaux avec une basse température de fusion (Al-Ag).

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h4. Procédures
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{color:#800000}{*}Ouvrir l'évaporateur{*}Modèle AUTO 306 de la compagnie BOC EDWARDS.*{color}

h4. Procédures
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* Appuyez sur SEAL pour fermer la valve entre la chambre et la pompe turbo.
* Appuyez sur VENT pour faire entrer l'Azote dans la chambre.
* Quand la pression indique 1000 mbar, vous pouvez ouvrir l'évaporateur.{color:#800000}

{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations de l'évaporateur ouvert{*}{color}
{panel}

{color:#800000}{*}Installation de l'échantillon{*}{color}
{panel}
* Faire tourner le porte écantillon en maintenantenfoncé le bouton de droite du Rotary workholder, jusqu'à amenner le boulon face à soi.
* Bien tenir le porte échantillon (Attention, il est Lourd)
* Fixer les échantillons sur une même région du porte échantillon, avec le ruban adhésif de graphite double face.
* Vérifier que les échantillons sont bien fixés et replacerle porte-échantillon.
* Faire tourner le porte-échantillon de manière à positionner les échantillons derrière le cache.

{*}Mettre des GANTS durant vos manipulations du porte échantillon.{*}{color}
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h4. Paramètres d'évaporation pour les différents métaux
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h4. Manuels et documentation

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[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 1|^AUTO 306 VACUUM COATER WITH TURBOMOLECULAR PUMPING SYSTEM vol 1.pdf]

[AUTO 306 Vacuum Coater - Vol 2|^AUTO 306 VACUUM COATER - OPERATING INSTRUCTIONS vol 2.pdf]

[Electron Beam Source|^EB3 MULTIHEARTH ELECTRON BEAM SOURCE AND ACCESSORIES.pdf]

[Film Thichness Monitor FTM7|^FTM7 FILM THICKNESS MONITOR.pdf]

[Source Shutter|^MANUAL SOURCE SHUTTER AND ELECTROMAGNETIC SOURCE SHUTTER.pdf]

[Crystal and oscillator unit|^WATER COOLED CRYSTAL HOLDER, CRYSTALS AND OSCILLATOR UNIT.pdf]

[Workholder|^WORKHOLDER AND HEATER ACCESSORIES.pdf]



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[Laboratoires|brano:Laboratoires]
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