PROCÉDURES ÉVAPO-CLOCHE
DESCRIPTION DES VALVES
VALVE 1: Valve entre la pompe primaire et la cloche (chambre).
VALVE2
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:
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Valve entre la pompe primaire et la pompe turbo moléculaire.
VALVE 3
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:
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Valve entre la pompe turbo moléculaire et la cloche.
VENT
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:
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Valve de purge (d'entrée d'air).
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VALVE1 | VALVE2 | VALVE3 & VENT |
DESCRIPTION DU SYSTÈME D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE.
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Le système d'alimentation électrique principale est une source de courant avec un Voltage de sortie de 6V qui permet de délivrer plus de 150 A de courant.
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PANNEAU D'ALIMENTATION PRINCIPALE. Voutmax: 150-200A =6V, I | BYPASS - Via VARIAC |
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BRANCHEMENT DIRECT DE L'ALIMENTATION PRINCIPALE | BRANCHEMENT VIA LE VARIAC |
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REMISE À L'AIR DU SYSTÈME
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La procédure de remise à l'air se fait selon les étapes suivantes:
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Éteindre la jauge de pression.
S'assurer que le système d'alimentation électrique est OFF.
Fermer la VALVE 3.
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Ouvrir la VALVE VENT.
Attendre que la pression dans la chambre atteigne la pression atmosphérique.
Enlever le couvercle de protection de la chambre.
Enlever la cloche.
Fermer la VALVE VENT.
Placez votre échantillon, ou enlevez le.
REMISE SOUS VIDE DU SYSTÉME
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La procédure de remise sous vide du système se fait selon les étapes suivantes:
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S'assurer que la VALVE VENT est fermée.
Fermer la VALVE 2.
Ouvrir la VALVE 1.
Attendre que la pression descende à 50 mTorr.
Fermer VALVE 1.
Ouvrir la VALVE 2.
Ouvrir la VALVE 3.
Laisser le système pomper pendant une vingtaine de minutes.
Allumer la jauge de pression à filament.
La pression devra commencer à afficher une valeur en deçà de
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10-
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4 Torr.
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Si la pression est comme indiquée plus haut, laisser pomper le système quelques heures jusqu'à une pression de
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5x10-
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6 Torr.