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La procédure de remise à l'air se fait selon les étapes suivantes:

• Fermer l'interrupteur "VALVE DE HAUT VIDE" (5).
• Attendre 5 secondes.
• Ouvrir l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6).
• Attendre que la pression dans la chambre atteigne 10 ³ Torr
• Presser le bouton vert pour autoriser l'ouverture de la porte de la chambre (9).
• Coulisser la porte de la chambre pour avoir accès à l'évaporateur.
• Fermer l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6).
• Placez ou enlevez vos échantillons.

La procédure de remise sous vide du système se fait selon les étapes suivantes

• Fermer la porte de l'évaporateur.
• Presser le bouton vert pour autoriser la fermeture de la porte (9).
• Vérifier que l'interrupteur "VALVE REMISE À L'AIR" (6) est fermé.
• POMPAGE PRIMAIRE :
  • S'assurer que l'interrupteur "POMPE MÉCANIQUE" (3) est ouvert, sinon l'ouvrir
  • Ouvrir l'interrupteur "VALVE VIDE PRIMAIRE" (4).
  • Attendre que la pression de la chambre atteigne 5x10 ^-3 Torr (8).
• POMPAGE SECONDAIRE :
  • Fermer l'interrupteur "VALVE VIDE PRIMAIRE" (4).
  • Ouvrir l'interrupteur "VALVE DE HAUT VIDE" (5).
  • Attendre que la pression dans la chambre atteigne 5x10 ^-6 Torr (8).
• Un témoin lumineux s'illumine pour permettre l'évaporation "ÉVAPORATION PERMISE".

• À l'aide du câble coaxial (1), choisir la source utilisée.
• Sur les deux contrôleurs de cristaux (2), sélectionner le « process » désiré :
  NEXT MENU / PROCESS MENU /«Sélectionner avec la roulette le process»/ SELECT /TO MAIN.
• S'assurer que les caches sont tous fermés (12).
• Faire le branchement des câbles électriques (10) pour les sources organique ou
  sélectionner la source de métaux utilisé (13).
• Peser sur le bouton gris pour activer les sources (7).

• Peser « Start » sur le contrôleur « Source » (2).
• Mettre « ON » le ou les contrôleurs de sources utilisées (11).
• Augmenter la tension de 1% par minute pour les métaux (11).
• Lorsqu'il a évaporation, augmenter très tranquillement la tension jusqu'au débit désiré.
• Faire « Start » sur le contrôleur «Échantillon » (2).
• Ouvrir la cache (12).
• S'assurer que le débit reste stable et attendre l'épaisseur désirée.
• Fermer la cache (12).
• Attendre 30 minutes avant de faire la procédure de remise à l'air.

Typically, a cryopump can be left in operation continuously if you are not processing or not using the vacuum chamber, by simply closing the Hi-Vac value to isolate the cryopump from your vacuum chamber. You are now able to load, unload, repair or replace components in the chamber and the cryopump will be available for restarting the process as necessary.

• Close the Hi-Vac valve to isolate the cryopump.
• Shut off the cryopump by removing the input power cable to the cryopump motor.
• Initiate Nitrogen gas purge.
• Continue Nitrogen gas purge until ambient temperature is reached.
• Shut off the Nitrogen gas purge.

• Close the Hi-Vac valve to isolate the Cryo-Torr Cryopump.
• Initiate a Nitrogen purge of the Cryo-Torr Cryopump for one hour.
• Open the roughing valve and rough the Cryo-Torr Cryopump to 50 microns. Close the roughing valve.
  NOTE: If step 4 cannot be achieved, repeat step 3.
• Check the rate-of-rise. The rate-of-rise should be 10 microns/minute.
  NOTE: Cryo-Torr Cryopump power is turned ON/OFF when compressor power is turned ON/OFF.
• Turn compressor power ON.
• Wait for the second stage temperature.