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Local 1176
Responsables:
Pierre Levesque (p.levesque@umontreal.ca).
Khalid Laaziri (khalid.laaziri@umontreal.ca).

Description">Description

La station sous pointes LAKESHORE DESERT CRYOGENICS FWP6 est un système munie de 5 bras manipulateurs pouvant portés des pointes DC/RF. La station permet de caractériser électriquement des dispositifs électroniques sur des gauffres ( jusqu'à 4 pouces de diamètre). La station, étant cryogènique, peut-être refroidit jusqu'à 4.2 K. Le système est aussi équipée d'une caméra couplée à un zoom optique qui posséde une résolution de 3 microns.

Spécifications">Spécifications

  • Temperature controller: Lakeshore 332
  • Temperature range: 4.2 K to 475 K
  • Probes: ZN50-25-Be-Cu (50 Ohm)
  • Probe cable: type Cu-SS-36/50 Ultra miniature cryogenic coaxial cable with SMA connector at probe end to 3-lug triax feedthrough.
  • Radiation shield heater: 100 W total
  • Cold head heater: 100 W total

Procédures standards">Procédures standards

Changement d'échantillon">Changement d'échantillon

 
  • Fermer la VALVE 1 entre la turbo et le SAS.
  • Fermer la VALVE 2 entre la pompe primaire et le SAS.
  • Ouvrir la valve de purge (VENT), attendre jusqu'à la pression atmosphérique.
  • Ouvrir le SAS, placer les échantillons.
  • Fermer la VALVE 3 entre la pompe primaire et la pompe TURBO.
  • Ouvrir la VALVE 2 pour pomper le SAS avec la pompe primaire.
  • Lorsque le vide atteint 10 -3 TORR, fermer la VALVE 2.
  • Ouvrir la VALVE 3 entre la pompe primaire et la TURBO.
  • Ouvrir lentememnt la VALVE 1 entre le SAS et la TURBO.
  • Bouger le bras de transfert jusqu'à la chambre.
  • Bloquer le porte échantillon, ensuite dévisser le bras de transfert et le ramener vers le bas.
  • Fermer la VALVE 1.

Refroidissement">Refroidissement

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  • Ouvrir la canne de 6 tours
  • Mettre la canne dans le Dewar (fermer la vanne de sécurité pour permettre à la pression de monter)
  • Quand l'He gazeux commence à sortir de l'autre côté, mettre la canne dans la station (pour la station avec sas, la sécuriser avec l'épingle)
  • Utiliser la pression induite par l'entrée de la canne dans le dewar (9 psi), puis réguler à 5 psi
  • Descendre à 4K, puis minimiser le flux d'He pour l'économiser
  • On peut laisser la pompe pomper sur la chambre ou bien fermer la vanne et couper la pompe
    Attention : au moment de rouvrir la vanne, il faut s'assurer que la pression est du même ordre de grandeur de chaque côté de celle-ci

Pour l'Azote, il faut on ouvrir la vanne de 10 tours et ajuster la pression à 8 psi

Chauffage">Chauffage

  • Setpoint : choisir la T initiale
  • Ramp : utiliser « next setting » pour mettre la rampe ON et ensuite « save screen » pour sauver.
  • Setpoint : choisir la T finale
  • Control setup pour vérifier les paramètres
  • Heat : avec heat range, on choisit la puissance. Augmenter la puissance pour atteindre la température voulue, mais pas trop pour ne pas la dépasser (rétroaction par PID)

Attention Il ne faut pas dépasser 400K sur le porte-échantillon et 320K sur le radiation shield.

Laboratoires

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