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Pompes mécaniques">Pompes mécaniques
Pompe |
Modèle |
Pression |
Vitesse de pompage |
Huile |
Notes |
---|---|---|---|---|---|
Edwards |
E2M2 |
7,5 x 10 -4 Torr |
1.5 cfm (0.7 l/s) |
Ultragrade 19 |
|
Edwards |
E2M30 |
7,5 x 10 -4 Torr |
21 cfm (9.87 l/s) |
Ultragrade 19 |
|
Edwards |
RV12 |
1,5 x 10 -3 Torr |
9 cfm (4.2 l/s) |
Ultragrade 19 |
|
Edwards |
E2M18 |
7,5 x 10 -4 Torr |
12,1 cfm (5.6 l/s) |
Ultragrade 19 |
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Leybold |
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Welch |
8910A |
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Welch Gold or Premium |
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Pompes séches">Pompes séches
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
---|---|---|---|---|---|
|
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Système de pompage">Système de pompage
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
---|---|---|---|---|---|
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Pompes turbo-moléculaires">Pompes turbo-moléculaires
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
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Autres pompes">Autres pompes
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
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