Pompes mécaniques
Pompe |
Modèle |
Pression |
Vitesse de pompage |
Huile |
Système |
Notes |
|---|---|---|---|---|---|---|
Edwards |
E2M2 |
7,5 x 10 -4 Torr |
1.5 cfm (0.7 l/s) |
Ultragrade 19 |
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Edwards |
E2M30 |
7,5 x 10 -4 Torr |
21 cfm (9.87 l/s) |
Ultragrade 19 |
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Edwards |
RV12 |
1,5 x 10 -3 Torr |
9 cfm (4.2 l/s) |
Ultragrade 19 |
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Edwards |
E2M18 |
7,5 x 10 -4 Torr |
12,1 cfm (5.6 l/s) |
Ultragrade 19 |
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Leybold |
Trivac |
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|
Leybold |
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Varian |
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Varian |
Triscroll 300 |
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Évaporateur ebeam |
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Welch |
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Welch |
8910A |
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Welch Gold or Premium |
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Pompes séches
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Notes |
|---|---|---|---|---|
Pfeiffer |
xtra-dry 150-2 |
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|
Edwards |
xds50 |
|
|
|
Edwards |
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|
Varian |
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Système de pompage
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Notes |
|---|---|---|---|---|
Pfeiffer |
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Pompes turbo-moléculaires
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
|---|---|---|---|---|---|
Balzers-Pfeiffer |
TMU261P |
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Balzers-Pfeiffer |
TPH055 |
|
|
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Balzers-Pfeiffer |
TPH050 |
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Autres pompes
Pompe |
Modèle |
Système |
Local |
Huile |
Notes |
|---|---|---|---|---|---|
Helix |
CTI Cryo-Torr |
Évaporateur glovebox |
4196 |
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