Système de déposition en phase vapeur (Silanisation)

La procédure de remise à l'air se fait selon les étapes suivantes:

• Dévisser l’ampoule avec la valve Ampoule du système de Silanisation.
• Dévisser l'ampoule, jeter le restant de Silane dans un bac adapté (Voir Procédure de gestion de déchets).
• Nettoyer l’ampoule au bain à ultrasons: Faire 2 bains consécutifs de Toluène puis Hexane de 30 min chacun. Remplir toute l’ampoule de solvant à l’aide d’une pipette et la mettre dans un bêcher rempli de solvant tel que l’ampoule soit presque totalement immergée.
  Il ne faut surtout pas que de l’eau entre dans l’ampoule!
• Sécher avec le jet d’azote. Puis procéder à un recuit dans un four sous vide a 120°C pendant 3‐4h. Mettre aussi la valve ampoule dans le four.
• Remplir l’ampoule avec l'OTS selon la quantité désirée. Dans la boîte à gants, revisser l’ampoule à sa valve, puis à l’aide d’une pipette, verser l’OTS dans l’ensemble. Enfin, revisser l'ensemble au système de Silanisation.

La procédure de Silanisation se fait selon les étapes suivantes

• S'assurer que les valves de Ouvrir les valves d'Air comprimé et d'Azote sont ouvertes.
• Purifier le Silane selon la manière suivante: Congeler l’ampoule de Silane avec de l’azote liquide, attendre que le silane gèle, ensuite ouvrir la "Valve Vide" et la "Valve Test" pour que les premiers gaz soient évacués,ce sont des gaz de contamination. Fermer la valve Test et recommencer l’opération une fois puis refermer les valves Test et Vide..
• Placer les échantillons sous la cloche et ouvrir la valve Vide. Régler la température à 110°C (230 F), utiliser le thermocouple pour contrôler la température. Attendre que la température se stabilise, cela peut prendre 1 à 2h. Une fois la température atteinte,fermer la valve Vide et ouvrir la valve Test. Attendre 3h que le silane se dépose sur les échantillons. Fermer Test et ouvrir Vide.
• Chauffer les échantillons. Régler la température à 120°C (248 F), attendre la stabilisation puis laisser chauffer pendant 30 min. Fermer la valve Vide pour sortir les échantillons.